Thinfilm
各式O-RING & Slit Door
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各式O-RING & Slit Door
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各式O-RING & Slit Door
本區機器操作時,機器中都需要抽成真空,所以又稱之為真空區,真空區的機器多用來作沈積暨離子植入,也就是在Wafer上覆蓋一層薄薄的薄膜,所以稱之為「薄膜區」。
適用機台:AMAT ,TEL 為大宗, 最大耗材為密封性O-RING, 陶瓷為主