SEMI / LCD / AMOLED Maintenance service
乾式超聲波清潔清洗設備
乾式超聲波清潔清洗設備
乾式超聲波清潔清洗設備
原理:整合DUC及AP-Plasma進行非接觸式清潔的單機系統,可支援UD/LUD,達至非接觸式完全清潔,將頑固的Particle及Organic Pollutant單機清潔完畢