RPS
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RPS
RPS全名為 Remote Plasma Source遠端電漿源, 在半導體廠稱為PRS, 而在面板廠稱為RPSC (Clean)。
主要功用:清潔方式為乾式清洗法,用於半導體廠與面板廠的製程中做為清潔用途。