設備改造
CO2
CO2
CO2
原理:
专利设计的气液混合裝置,以精準调压阀控制供给CO2,依水流与水压的条件
供给适当的气压值, 再利用后置混合器(静态混合器),二次气液混合,使水与 气体充分离子化,以达到稳定之电阻值设定范围。可有效降低阻值,避免因ESD問題造成良率損失。