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Electrostatic Chuck,簡稱E-chuck & ESC 或靜電吸盤
安裝於半導體蝕刻機內.
以1,500伏以上的高壓產生靜電來吸附晶圓,固定晶圓的作用,進行後續精密的蝕刻作業。配合加熱/冷卻裝置讓薄膜/蝕刻製程能有效被控制