Al Heater
Al Heater
Al Heater
Al Heater
Heater是在半導體CVD或PVD製程中的晶片載台同時提供製程所需的溫度, 為關鍵性的零組件。
一般Heater的材質有鋁、不銹鋼、陶瓷..等製成。