相较于传统陶瓷(卫浴设备、瓷砖等)，精密陶瓷(Cermaic)具有相当高的化学纯度、密度、硬度、强度、韧性、耐腐蚀、耐酸碱、与绝缘性。目前已经广泛应用于半导体、面板制程设备中的机械手臂、Chamber内衬、上盖、与瓷环等。
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